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水平離子濺射鍍膜設備

水平離子濺射鍍膜設備

直接聯(lián)系

杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司

江蘇

產品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

杰萊特

型號：

水平離子濺射鍍膜設備

關注度：

664

產品介紹


工藝參數：

一，真空系統(tǒng)

1、極限真空度：4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋轉：0.005°

2、工件旋轉:<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板：0.005°

5、擋板:  position switch




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水平離子濺射鍍膜設備

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