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型號：IBSH-1030

特點：

1、基板水平放置，垂直監控；

2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監控。

6、無膜厚分布修正板

型號：IBSH-1030

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3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

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6、無膜厚分布修正板

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2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監控。

6、無膜厚分布修正板