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微型熱沉積系統

定制-微型熱沉積系統

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廈門毅睿科技有限公司

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定制-微型熱沉積系統

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微型熱沉積系統


微型熱沉積系統.png


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●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)

●真空室:350(D) x 440(H)

●可實現<+/-3%的均勻沉積

●極限壓力 ≤5E-7Torr

●襯底大小:3”



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