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前道涂膠顯影機

前道涂膠顯影機

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廣東大族半導體裝備科技有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

大族半導體

型號:

前道涂膠顯影機

關注度:

353

產品介紹

主要特點:

設備特點:

1、堆疊式高產能架構,占地面積小

2、配備多段回吸的多腔體共用供膠系統,有效節省光刻膠的用量

3、選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,滿足更高標準工藝需求

4、核心單元模塊化設計,組合方式靈活多變,**限度客制化

5、滿足工廠FA自動化需求

6、可以與主流光刻機聯機

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前道涂膠顯影機

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